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日本ygkcop晶圓表面掃描儀

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詳細(xì)參數(shù)
品牌	ygkcop	型號	YPI-MN
加工定制	否

產(chǎn)品詳情

日本ygkcop晶圓表面掃描儀

YPI-MX-ΘDC

YPI-MN

晶圓表面掃描儀最小半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備

半英寸晶圓表面顆粒檢查設(shè)備。
標(biāo)準(zhǔn)半英寸晶片表面上的異物（顆粒）的高速掃描實時顯示在觸摸屏顯示器上。

根據(jù)規(guī)格檢查顯示/運輸操作。
可以通過簡單的操作快速掌握晶片的顆粒狀態(tài)。

檢測粒徑為0.1μm。

測量結(jié)果示例

設(shè)備規(guī)格

掃描方式螺旋掃描

工作安裝標(biāo)準(zhǔn)的自動運輸

能量消耗AC100V 10A

最小檢測粒徑0.1微米

重現(xiàn)性σ/ X≦10％

測量時間1分鐘以內(nèi)，包括運輸（測量重復(fù)性90％或更高）

待檢查的基材硅片等

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