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伯東企業(yè)（上海）有限公司的工程案例詳情

IBE 離子束刻蝕設(shè)備 MRAM 磁性存儲(chǔ)器干法刻蝕應(yīng)用: 發(fā)布日期：2025-05-08 點(diǎn)擊量：143

商鋪名稱(chēng): 伯東企業(yè)（上海）有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品或服務(wù): 銷(xiāo)售：德國(guó)普發(fā),pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,渦輪分子泵,真空閥門(mén) 采購(gòu)：暫無(wú)

經(jīng)營(yíng)模式: 貿(mào)易公司-外商獨(dú)資

商鋪類(lèi)型: 外商獨(dú)資

商鋪主頁(yè): http://hakuto.jdzj.com/

主要經(jīng)營(yíng)地點(diǎn): 上海市外高橋保稅區(qū)希雅路33號(hào)17號(hào)樓3層

貿(mào)易地區(qū): 華東，華南

商鋪狀態(tài): 開(kāi)通第12年

所屬行業(yè): 儀器儀表 ---> 檢測(cè)儀器

上海伯東代理 IBE 離子束刻蝕設(shè)備為 MRAM 磁性存儲(chǔ)器干法刻蝕提供解決方案, 可以刻蝕不易刻蝕的金屬或合成堆棧膜層 Ta, Ru, Pt … 及介質(zhì)層 SiO2, SiNx … IBE 離子束刻蝕設(shè)備實(shí)現(xiàn)離子刻蝕 Ion Beam Etch, 離子清洗 Ion Beam Pre-clean.

上海伯東 IBE 離子束刻蝕設(shè)備特點(diǎn)
1. 離子束刻蝕設(shè)備可撘配美國(guó) KRi 考夫曼品牌 RFICP 射頻離子源, 針對(duì)客戶(hù)所需不同的基板尺寸 2 ~12寸硅片, 離子束分布均勻性可以?xún)?yōu)于95% 以上, 達(dá)到高刻蝕均勻性

2. 樣品臺(tái)裝置設(shè)計(jì)為可調(diào)式旋轉(zhuǎn), 刻蝕傾斜角度 0° ~170° 可以達(dá)到更佳刻蝕均勻性. 另外, 在載盤(pán)部分可以選擇氦冷裝置, 實(shí)現(xiàn)刻蝕工藝時(shí)對(duì)基板的冷卻效果.
IBE 離子束刻蝕設(shè)備

3. 進(jìn)樣腔體可以選擇自動(dòng)進(jìn)樣設(shè)計(jì)或是手動(dòng)進(jìn)樣設(shè)計(jì), 實(shí)現(xiàn)單片或是多片進(jìn)樣選擇, 同時(shí)保持刻蝕工藝腔體處于真空狀態(tài), 達(dá)到連續(xù)性工藝.

上海伯東 IBE 離子束刻蝕設(shè)備案例: 滿足刻蝕線條寬度, 準(zhǔn)直度的高要求
IBE 離子束刻蝕設(shè)備案例: 滿足刻蝕線條寬度, 準(zhǔn)直度的高要求

IBE 離子束刻蝕設(shè)備案例: 滿足刻蝕線條寬度, 準(zhǔn)直度的高要求

上海伯東代理 IBE 離子束刻蝕設(shè)備可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料. 是一種干法物理納米級(jí)別的刻蝕, 刻蝕均勻性 ≤±5%(部分材料 ±3%). IBE 刻蝕機(jī)幾乎滿足所有材料的刻蝕. 例如磁性材料, 黃金 Au, 鉑 Pt, 合金等金屬及復(fù)合半導(dǎo)體材料, 廣泛應(yīng)用于 RF 射頻器件, MEMS 傳感器, 磁性器件 … 等研究.
對(duì)于“難去除”的材料比如貴金屬（如金和鉑）, 壓電材料（鋯鈦酸鉛 PZT, 鈮酸鋰 LiNbO3 和氮化鋁鈧 AlScN, 或用于 MRAM 和 STT-MRAM 的材料（如 AL2O3 , Ni, Fe, Cr, Co, Cu, Mn 和 Pd 等）上海伯東 IBE 離子束刻蝕設(shè)備同樣有著穩(wěn)定的刻蝕均勻性.

若您需要進(jìn)一步的了解 IBE 離子束刻蝕設(shè)備詳細(xì)信息, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號(hào) )
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