產(chǎn)品詳情
邁浦特機(jī)械高低溫一體機(jī)為半導(dǎo)體光刻工藝研發(fā)的溫控系統(tǒng)，通過(guò)雙級(jí)壓縮機(jī)制冷與納米陶瓷加熱技術(shù)，實(shí)現(xiàn)±0.01℃的極端穩(wěn)定性。工作原理采用三路溫度反饋機(jī)制：分別監(jiān)測(cè)設(shè)備出口、回流介質(zhì)和芯片承載臺(tái)溫度，數(shù)據(jù)經(jīng)無(wú)模型自建樹(shù)算法處理，動(dòng)態(tài)調(diào)整加熱/制冷功率。制冷系統(tǒng)配備預(yù)冷模塊，支持從200℃直接降溫，避免晶圓熱應(yīng)力損傷；加熱器采用分區(qū)布局，減少電磁干擾。全密閉管路填充低粘度硅油，板式換熱器加速熱傳遞。設(shè)備集成防塵外殼，防止微粒污染光學(xué)組件，并可遠(yuǎn)程編程溫度曲線(xiàn)，模擬芯片-40℃~85℃老化循環(huán)，確保芯片在極端溫度下的可靠性
- 溫度范圍：-60℃~200℃
- 溫度穩(wěn)定度：±0.01℃
- 降溫速度：200℃→0℃ ≤5分鐘
- 防塵等級(jí)：IP54（模塊防塵定制）
- 通訊：支持RS485遠(yuǎn)程控制
