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步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)中，微調(diào)電容及耦合環(huán)都采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制。微調(diào)電容步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器FMSTEPDRIVE基本控制方式為采用RS-422標(biāo)準(zhǔn)的差分脈沖。

　　步進(jìn)運(yùn)行時(shí)，由工控機(jī)I/O口發(fā)出步進(jìn)脈沖；連續(xù)運(yùn)行時(shí)，工控機(jī)I/O口發(fā)出連續(xù)脈沖使能信號(hào)，打通驅(qū)動(dòng)脈沖發(fā)生電路上的振蕩器連續(xù)脈沖輸出，步進(jìn)或連續(xù)脈沖信號(hào)經(jīng)單穩(wěn)觸發(fā)器整形為占空比50%的方波，由采用RS-422標(biāo)準(zhǔn)的差分驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)送入步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)運(yùn)動(dòng)。

　　微調(diào)電容的驅(qū)動(dòng)重點(diǎn)在于保證步進(jìn)精度（步進(jìn)分辨率）。根據(jù)微調(diào)電容滾珠絲杠導(dǎo)程及最小步距的要求，將FMSTEPDRIVE細(xì)分設(shè)置為10000細(xì)分/轉(zhuǎn)（步距0.036b），并以兩個(gè)脈沖（相當(dāng)于直線位移0.4um）為循環(huán)步距。

　　實(shí)際工作時(shí)，當(dāng)微調(diào)電容需作步進(jìn)驅(qū)動(dòng)時(shí)，系統(tǒng)工控機(jī)每個(gè)循環(huán)周期通過其I/O口連續(xù)發(fā)出二個(gè)脈沖，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電機(jī)做步進(jìn)（0.4um）運(yùn)動(dòng)。并根據(jù)微調(diào)電容直線感應(yīng)同步器實(shí)際直線位置反饋決定步進(jìn)電機(jī)的轉(zhuǎn)停，直至完成該步距運(yùn)動(dòng)。

　　連續(xù)運(yùn)行時(shí)，驅(qū)動(dòng)按鍵按下后，工控機(jī)通過I/O口發(fā)出連續(xù)脈沖使能信號(hào)，打通振蕩器的連續(xù)脈沖輸出，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)步進(jìn)電機(jī)連續(xù)運(yùn)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)按鍵松開后，工控機(jī)通過I/O口關(guān)閉連續(xù)脈沖使能信號(hào)，步進(jìn)電機(jī)將停止轉(zhuǎn)動(dòng)，完成連續(xù)驅(qū)動(dòng)操作。