半導(dǎo)體EP級VCR鎳墊片 電子級Ni墊圈 高純氣體硬密封

VCR是真空連接徑向密封)前三個英文單詞的縮寫，

是美國Swagelok公司的金屬面密封接頭(Metal Gasket Face Seal Fitting)的注冊商標(biāo)。

VCR接頭最早用于宇航工業(yè)，目前在半導(dǎo)體光電制造行業(yè)普遍使用?？赡苁且驗?/span>Swagelok

公司的名氣和影響力太大，VCR成了金屬面密封接頭的代名詞

1、工作原理

VCR接頭是面密封接頭(Face SealFitting)的一種，密封元件采用金屬墊片。通過內(nèi)、外螺紋

互鎖來壓迫金屬墊片，使墊片產(chǎn)生一定的變形，從而達到密封的效果。

型圈(材質(zhì)通常為氟橡膠或氟塑料)，目前用得很少。

2、特點

VCR接頭潔凈度高(組件經(jīng)過電拋光及清洗等工藝處理)、密封性好，特別適用于要求無泄漏的

超高純凈系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)及高壓系統(tǒng)。因為采用了金屬密封元件，VCR接頭的額定工作溫

度范圍比較廣(采用SUS316L墊片的VCR接頭，溫度額定值可達537℃)。VCR接頭便于安裝，

具有最小拆卸間隙，可以反復(fù)拆裝(拆卸后重新安裝需要更換新墊片)。

VCR接頭的Gland同TUBE管之間需要焊接。VCR接頭一般要與自動焊接頭配合使用，在不需要

拆卸的地方使用自動焊接頭(Weld Fittings)，在需要拆卸的地方(如閥門、設(shè)備接口處)使用VCR

接頭。因此很多廠家的樣本上都是把VCR接頭(金屬面密封接頭)和自動焊接頭放在一起的，有些

廠家還把這兩種接頭統(tǒng)稱為Clean Fittings(潔凈管件)。

半導(dǎo)體EP級VCR鎳墊片 電子級Ni墊圈 高純氣體硬密封

3、材質(zhì)

接管(Gland)、本體(Body)和螺母(Nut)的材質(zhì)一般為SUS316或SUS316L。墊片(Gasket)的材質(zhì)

一般為SUS316L、鎳或銅(銅墊片現(xiàn)在基本不使用)，墊片有鍍銀和不電鍍之分。

VCR內(nèi)螺紋螺母(FemaleNut)的內(nèi)螺紋經(jīng)過鍍銀處理，以防止磨損。

4、品牌

當(dāng)然，除了表1中所列的一些常用品牌，還有很多其它品牌，不同品牌的價格也有很大差異，我們

在投標(biāo)報價和采購之前，一定弄清楚業(yè)主對品牌的要求。

5、常用型式

按作用不同可分為:直通接頭(UNION)、彎頭(ELBOW)、三通(TEE)、大小頭(REDUCER)、四通(UNION

 CROSS)、管帽(CAP)、堵頭(PLUG)、轉(zhuǎn)換接頭(CONNECTOR、ADAPTER)等。

按接頭的連接方式可分為:①都是VCR連接(如圖4，圖中所示都是本體，需要同內(nèi)螺紋螺母、接頭、墊片

配合使用);②一頭是VCR連接，一頭是螺紋連接(如圖5);③一頭是VCR連接，一頭是卡套連接(如圖6);④其

它。

(1)LOK接頭是一個整體，包括本體、螺母、前卡套和后卡套。例如訂購了一個UnionElbow(LOK彎頭)，

就可以直接使用了，不需要另外訂購螺母和前、后卡套(除非作為備用部件)。但VCR接頭則不一樣，例如

訂購了一個UnionElbow，還需要另外訂購兩個Gasket(墊片)、兩個Gland(接頭)、兩個Female Nut(內(nèi)螺

紋螺母)，才能配合使用。

半導(dǎo)體EP級VCR鎳墊片 電子級Ni墊圈 高純氣體硬密封

(2)VCR接頭的金屬墊片可分為無爪型(NonretainedGasket)和帶爪型(RetainedGasket)，訂購時也要注明

，如圖8所示。

為對焊(Butt Weld)、肩焊(ShouldWeld)、承插焊(Socket Weld);按與其配套使用的螺母可分為公型(Male)

、母型(Female)。各個廠家對不同接頭(Gland)的叫法不一樣，訂購時要按所選品牌的樣本，標(biāo)注清楚。

(4)VCR接頭規(guī)格型號特別多，而且不是成套供應(yīng)，訂貨時一定要寫清楚名稱、規(guī)格和材質(zhì)，寫上廠家的

訂購號，以免搞錯。例如1/2”的SUS316L帶爪墊片(鍍銀)的訂單號，SWAGELOK是SS-8-VCR-2-GR;Ham-

Let是GA-1/2-RT SILVER PLATED;ASFLOW是AC-GSK08-316L。

(5)實際上TUBE管有英制(如1/8”、1/4”、3/8”、3/4、”1”)和公制(如3、8、15、20、25mm)兩種(都是

指管外徑)，不過常用的是英制。因此同TUBE配套的VCR接頭也有英制和公制之分，訂貨時應(yīng)說明。

(6)對于一頭是螺紋連接(如圖5)的VCR接頭，要區(qū)分管螺紋的類型，比較常見的有兩種:NPT(60°圓錐管螺紋，美

標(biāo)產(chǎn)品常用)和PT(55°圓錐管螺紋，國內(nèi)常用，日本也用得較多)。不同類型的管螺紋混用，可能擰不到位，造成

泄漏或隱患;有的即時擰到位了，有可能以后拆不下來。

(7)VCR接頭中的墊片是一次性易耗品，經(jīng)常會因為保管不善丟失，或者施工錯誤(變更)需要更換，因此要訂一些

備用的墊片。