產(chǎn)品詳情
針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)設(shè)計(jì)，采用自適應(yīng)PID算法和磁力驅(qū)動(dòng)泵，實(shí)現(xiàn)無(wú)泄漏精密溫控。制冷系統(tǒng)使用三級(jí)復(fù)疊壓縮（R23/R404/R14冷媒），通過(guò)蒸發(fā)器吸收芯片測(cè)試臺(tái)熱量，在-120℃超低溫下保持±0.1℃穩(wěn)定性；加熱系統(tǒng)采用管道式陶瓷加熱器，升溫速率達(dá)10℃/min，確保晶圓快速達(dá)到測(cè)試溫度（350℃）。設(shè)備內(nèi)置壓力傳感器和故障診斷模塊，實(shí)時(shí)監(jiān)控冷媒流量與導(dǎo)熱液狀態(tài)，避免溫度波動(dòng)。
應(yīng)用案例：某芯片廠引入后，蝕刻工藝溫控精度提升至±0.3℃，芯片良率提高10%，同時(shí)通過(guò)APP遠(yuǎn)程啟停，減少潔凈室人工干預(yù)
| 溫度范圍 | -110℃ ~ 350℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃ |
| 制冷量 | 5.9kW@-110℃ |
| 流量控制 | 8~80L/min（可調(diào)） |
| 通信接口 | RS485/物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程監(jiān)控 |
