日前，2022年全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)和全國(guó)工人先鋒號(hào)揭曉，復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院教授張衛(wèi)榮獲全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)?。今年獲這一獎(jiǎng)?wù)碌娜珖?guó)總共966人，此外200個(gè)集體獲全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)狀，956個(gè)集體獲全國(guó)工人先鋒號(hào)稱號(hào)。

張衛(wèi)教授

復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院院長(zhǎng)、校學(xué)術(shù)委員會(huì)副主任、“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國(guó)家科技重大專項(xiàng)技術(shù)副總師、國(guó)務(wù)院特殊津貼獲得者。

4月29日，知悉自己獲得全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)聲r(shí)，張衛(wèi)教授正在辦公室修改學(xué)生論文。談及榮獲獎(jiǎng)?wù)拢f(shuō)：“榮譽(yù)只代表過(guò)去，我得繼續(xù)努力工作，每天都有很多事情要做?！?/p>

疫情期，張衛(wèi)返回校園值守崗位已有一個(gè)月。他的每一天都很平常，從住所到辦公室兩點(diǎn)一線。大部分時(shí)間，張衛(wèi)坐在辦公桌前，敲著電腦鍵盤，一坐就是幾個(gè)小時(shí)。

正值畢業(yè)季，張衛(wèi)每天都在花時(shí)間審閱、修改學(xué)生們的論文。張衛(wèi)說(shuō)：“如果學(xué)生做得不好，那一定是我的原因?！庇袝r(shí)候?yàn)榱苏撐闹械囊欢挝淖?，他?huì)和學(xué)生反復(fù)討論和斟酌，力求描述準(zhǔn)確。五一勞動(dòng)節(jié)當(dāng)天，他早上7點(diǎn)多就到辦公室，查找文獻(xiàn)、修改學(xué)生的論文，午飯剛過(guò)就開始在網(wǎng)上審評(píng)論文。

返校以來(lái)，除了教學(xué)和科研工作，他還關(guān)愛學(xué)院師生，擔(dān)起疫情防控的一方責(zé)任。作為微電子學(xué)院院長(zhǎng)，他說(shuō)，“堅(jiān)持在第一線防疫，這是我的責(zé)任”。借用張衛(wèi)的話，他就是“一個(gè)平凡的人”。但是，在這平淡平凡的背后，有著責(zé)任和擔(dān)當(dāng)。

搭建第一套原子層沉積

技術(shù)的實(shí)驗(yàn)研究平臺(tái)

時(shí)光回到20多年前。

1995年6月，張衛(wèi)博士畢業(yè)后到復(fù)旦大學(xué)做博士后，合作導(dǎo)師是電子工程系的王季陶教授。在這期間，他瞄準(zhǔn)本領(lǐng)域的國(guó)際學(xué)術(shù)前沿，開展了先進(jìn)銅互連技術(shù)和低介電常數(shù)互連介質(zhì)等研究，并取得了很好的學(xué)術(shù)成績(jī)。博士后出站后，張衛(wèi)留校工作，繼續(xù)專注于集成電路領(lǐng)域的創(chuàng)新研究。

之后，張衛(wèi)在德國(guó)做了一年半的洪堡學(xué)者，2002年5月他回到復(fù)旦大學(xué)。在學(xué)校和學(xué)院領(lǐng)導(dǎo)的大力支持下，他在國(guó)內(nèi)率先開展了原子層沉積(ald)高k柵介質(zhì)的研究。2003年他搭建了國(guó)內(nèi)第一臺(tái)原子層沉積實(shí)驗(yàn)設(shè)備，隨后他組織舉辦了第一屆中國(guó)原子層沉積技術(shù)學(xué)術(shù)會(huì)議，邀請(qǐng)了國(guó)內(nèi)外ald領(lǐng)域?qū)＜覅?huì)，迅速擴(kuò)大了復(fù)旦大學(xué)在集成電路前沿領(lǐng)域的國(guó)際影響力。

如今，中國(guó)原子層沉積學(xué)術(shù)會(huì)議(cald)已成功舉辦了9屆。張衛(wèi)教授團(tuán)隊(duì)在原子層沉積領(lǐng)域的研究也取得了豐碩成果，發(fā)表相關(guān)學(xué)術(shù)論文120多篇。

“做科研就是要鍥而不舍”

28年，張衛(wèi)從一個(gè)初出茅廬的科研人員，成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)集成電路領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物，獲得無(wú)數(shù)榮譽(yù)。這一切的背后，離不開他的“死磕”。在他看來(lái)，“做科研，是我的工作，也是我長(zhǎng)久的堅(jiān)守?！?/p>

微電子學(xué)院青年教師孫清清，2004年還是一名大四的學(xué)生，當(dāng)時(shí)他在張衛(wèi)教授課題組做畢業(yè)設(shè)計(jì)。每次跟來(lái)自美國(guó)的工程師一起安裝設(shè)備的時(shí)候，他發(fā)現(xiàn)旁邊總有一個(gè)人，那就是張衛(wèi)。

“幾天接觸下來(lái)，我感覺張老師是一個(gè)非常嚴(yán)謹(jǐn)?shù)娜耍軓乃砩蠈W(xué)到東西。”本科畢業(yè)后孫清清跟著張衛(wèi)教授攻讀研究生。他和張衛(wèi)的緣分，自2004年延續(xù)至今。孫清清也已成長(zhǎng)為一名學(xué)科帶頭人。

“有時(shí)候，在大家覺得‘沒必要’或‘不可能’的時(shí)候，他就不放棄，死磕，最后成功推進(jìn)了?！?孫清清說(shuō)。

“集成電路領(lǐng)域的研究需要產(chǎn)學(xué)研深度合作。”孫清清回憶，“張老師經(jīng)常帶著我們跟企業(yè)去談，有時(shí)候每周都要飛過(guò)去”?！笆菑埨蠋煹膱?jiān)持打動(dòng)了對(duì)方，最終合作得以成功?！睂O清清說(shuō)，如果中間不堅(jiān)持，事情肯定就“泡湯”了。

微電子學(xué)院2019年直博士徐航說(shuō)：“老師對(duì)科研的態(tài)度非常認(rèn)真嚴(yán)謹(jǐn)。有問題找他時(shí)，討論中，他連一些小細(xì)節(jié)都不放過(guò)。他還會(huì)就你提出來(lái)的問題發(fā)散到面上，讓你看到一些之前沒考慮的問題，幫你理清科研思路?！?/p>

憑著這份韌勁，張衛(wèi)幾十年如一日，在科研路上孜孜不倦。近年來(lái)，他牽頭承擔(dān)了8項(xiàng)國(guó)家和上海市重大、重點(diǎn)科研項(xiàng)目，在science、nature materials、ieee electron device letters、ieee ted等本領(lǐng)域國(guó)內(nèi)外學(xué)術(shù)期刊及會(huì)議上發(fā)表論文300多篇，申請(qǐng)發(fā)明專利180多項(xiàng)。

不僅傳授知識(shí)

更要做有價(jià)值的人生導(dǎo)師

“作為一名老師，首要任務(wù)是教書育人，為行業(yè)培養(yǎng)高質(zhì)量的人才。”張衛(wèi)說(shuō)。除了潛心探索科研工作，張衛(wèi)堅(jiān)守在教學(xué)一線。他給本科生講授《半導(dǎo)體材料》課程。一位復(fù)旦大學(xué)微電子專業(yè)20年前畢業(yè)的學(xué)生，現(xiàn)在已是企業(yè)高管，依然對(duì)張老師激情講授的《半導(dǎo)體材料》課程印象深刻。

在張衛(wèi)看來(lái)，“大學(xué)教育對(duì)一個(gè)學(xué)生未來(lái)職業(yè)規(guī)劃和選擇非常重要。作為老師，我想不僅僅是做科研，更是作為人生導(dǎo)師。不僅傳授知識(shí)，更要活用我過(guò)去幾十年的人生閱歷，引導(dǎo)他們成長(zhǎng)?！?/p>

多年來(lái)，他培養(yǎng)了一大批集成電路領(lǐng)域的優(yōu)秀人才，其中5人獲得國(guó)家高層次人才等稱號(hào)，40多人擔(dān)任我國(guó)集成電路頭部企業(yè)高管和核心技術(shù)人員，成長(zhǎng)為我國(guó)集成電路領(lǐng)域的領(lǐng)軍人物。

這兩年，張衛(wèi)還為高中生先修課堂上課，講授“改變世界的芯片技術(shù)”。他說(shuō)，芯片是現(xiàn)代工業(yè)的糧食，是我們國(guó)家高科技強(qiáng)國(guó)建設(shè)的重要一環(huán)，希望通過(guò)先修課堂，讓中學(xué)生對(duì)研究有了解，激發(fā)他們對(duì)科研世界的思考。

主動(dòng)對(duì)接國(guó)家重大戰(zhàn)略需求

為“第一個(gè)復(fù)旦”建設(shè)貢獻(xiàn)力量

談到未來(lái)微電子學(xué)院的發(fā)展，張衛(wèi)說(shuō)，學(xué)院將面向?qū)W科前沿和國(guó)家重大戰(zhàn)略的需求，在平臺(tái)建設(shè)、科研創(chuàng)新和人才培養(yǎng)等方面積極進(jìn)取，特別是要探索集成電路人才培養(yǎng)的新模式，解決產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)問題，培養(yǎng)產(chǎn)業(yè)急需的創(chuàng)新型領(lǐng)軍人才，走出一條新路徑。

張衛(wèi)說(shuō)，集成電路是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。復(fù)旦大學(xué)集成電路學(xué)科成為教育部公布的新一輪“雙一流”學(xué)科建設(shè)名單中全國(guó)高校唯一入選的“集成電路科學(xué)與工程”學(xué)科。復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院已是國(guó)家示范性微電子學(xué)院的典型代表，將努力建設(shè)成為集成電路基礎(chǔ)源頭創(chuàng)新、前瞻性技術(shù)攻關(guān)和高層次人才培養(yǎng)的國(guó)際一流微電子學(xué)院，為建設(shè)特色鮮明、引領(lǐng)創(chuàng)新、享譽(yù)世界學(xué)術(shù)殿堂的“第一個(gè)復(fù)旦”作貢獻(xiàn)。

離開科研、教學(xué)，張衛(wèi)的生活很簡(jiǎn)單，平常他最喜歡的活動(dòng)就是跟家人一起打乒乓球或羽毛球。長(zhǎng)期以來(lái)，他保持良好作息習(xí)慣，每天晚上11點(diǎn)之前睡覺，早上6點(diǎn)鐘起床，以充沛的精力投入到新的一天。

受疫情影響，這段時(shí)間微電子學(xué)院實(shí)驗(yàn)室暫時(shí)“停擺”。作為導(dǎo)師，為了緩解學(xué)生的科研焦慮，張衛(wèi)做了一些調(diào)整，讓科研不間斷，包括布置閱讀新的文獻(xiàn)、總結(jié)前期實(shí)驗(yàn)經(jīng)驗(yàn)、討論進(jìn)一步完善實(shí)驗(yàn)計(jì)劃……做實(shí)做足前期功課，等待條件允許時(shí)快速投入、推進(jìn)實(shí)驗(yàn)。

在“五四”青年節(jié)來(lái)臨之際，張衛(wèi)寄語(yǔ)：“復(fù)旦青年有理想、有抱負(fù)。你們處在一個(gè)偉大的時(shí)代，要樹立遠(yuǎn)大目標(biāo)，將個(gè)人的規(guī)劃和國(guó)家的需求緊密結(jié)合，努力成為擔(dān)當(dāng)民族復(fù)興大任的時(shí)代新人?！?/p>