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中國首條8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線實現(xiàn)量產(chǎn)

  英諾賽科(珠海)科技有限公司舉行8英寸硅基氮化鎵通線投產(chǎn)儀式。據(jù)悉,這是中國首條實現(xiàn)量產(chǎn)的8英寸硅基氮化鎵生產(chǎn)線。由于高溫環(huán)境下生長的氮化鎵薄膜冷卻時受熱錯配應(yīng)力的驅(qū)動下,容易發(fā)生破裂或翹曲,成為硅基氮化鎵大英寸化的主要障礙,英諾賽科采取獨有技術(shù)解決了這一挑戰(zhàn),將硅基氮化鎵晶圓尺寸推進到8英寸。

  英諾賽科董事長駱薇薇表示:“經(jīng)過2年的努力我們終于建成中國首條8英寸硅基氮化鎵外延與芯片生產(chǎn)線,并成功量產(chǎn),添補了我國在這一領(lǐng)域的空白。這既是一個里程碑也是一個新的起點。公司將繼續(xù)在技術(shù)前沿上推進,把握行業(yè)發(fā)展趨勢,在應(yīng)用領(lǐng)域上不斷開拓,在市場上與多方合作,將公司建成行業(yè)內(nèi)最具影響力的企業(yè)。”


  英諾賽科總經(jīng)理孫在亨表示:“氮化鎵又被稱做寬禁帶半導(dǎo)體,是當(dāng)今世界上最具潛力的半導(dǎo)體材料之一。中國是世界上最大的半導(dǎo)體產(chǎn)品市場,同時也是產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展最迅速國家。氮化鎵產(chǎn)業(yè)將帶來巨大的創(chuàng)新發(fā)展機遇。”

  英諾賽科是2015年12月由海歸團隊發(fā)起創(chuàng)辦,從事寬禁帶半導(dǎo)體電力電子器件的研發(fā)與生產(chǎn),一期項目位于珠海市國家級高新區(qū),已完成投資10.9億元,建設(shè)8英寸增強型硅基氮化鎵外延與芯片大規(guī)模量產(chǎn)生產(chǎn)線。公司商業(yè)模式將采用IDM全產(chǎn)業(yè)鏈模式,打造集研發(fā)、設(shè)計、外延生長、芯片制造、測試于一體的生產(chǎn)平臺,主要產(chǎn)品包括100V——650V8英寸硅基氮化鎵外延片、100V——650V氮化鎵功率器件、氮化鎵集成電路。

  硅氮化鎵技術(shù)能夠提高功率密度和能效,同時縮小器件尺寸,因此,非常適合用于電視機電源和D類音頻放大器等消費電子產(chǎn)品,服務(wù)器和電信設(shè)備中使用的SMPS。有報告稱,面向功率半導(dǎo)體的硅基板GaN技術(shù)市場,將以高達50%以上的年均復(fù)合增長率(CAGR)成長。到2023年,其市場容量將從2014年的1,500萬美元,增至8億美元。

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