產(chǎn)品詳情
COBRA干式螺桿真空泵
極限壓力: 0.001 - 0.005 hPa (mbar)
抽氣速率 60 Hz: 100 - 9,000 m3/h
- COBRA 半導(dǎo)體螺桿真空泵為工藝嚴(yán)苛的半導(dǎo)體、太陽能、平板顯示器生產(chǎn)及各種鍍膜應(yīng)用提供有效的解決方案。
- COBRA 半導(dǎo)體螺桿真空泵配有高效電機(jī),因此可提供絕佳的節(jié)能效果。簡潔的設(shè)計(jì)結(jié)合 Busch 成熟的螺桿技術(shù)(可選擇通過法蘭直聯(lián)一臺(tái)羅茨真空泵)使 COBRA 半導(dǎo)體螺桿真空泵具備強(qiáng)勁、可靠、少維護(hù)的特性。
-
COBRA 半導(dǎo)體螺桿真空泵有多種型號(hào),且適用于各類工藝。緊湊型設(shè)計(jì)簡化了安裝過程,即使在較狹小的空間也
能輕松安裝。此系列擁有同等級(jí)真空泵中最大的抽速,可提供最大的抽氣量(甚至是抽氫氣)且可耐受一定程度的
粉塵顆粒。


