ASML 4022.658.67701阿斯麥

ASML 4022.658.67701阿斯麥是ASML極紫外（EUV）光刻系統(tǒng)中的一項(xiàng)核心參數(shù)，主要涉及光源波長控制與成像分辨率優(yōu)化。該參數(shù)通過精密算法協(xié)調(diào)光刻機(jī)光源功率、曝光劑量及掩模版對齊精度，直接影響芯片制程的節(jié)點(diǎn)能力。

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