產(chǎn)品詳情
ASML 4022.436.8158阿斯麥參數(shù)與供應(yīng)簡(jiǎn)介
一、產(chǎn)品概述
ASML 4022.436.8158是寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化重點(diǎn)供應(yīng)的一款關(guān)鍵光刻機(jī)零部件,專(zhuān)用于ASML極紫外(EUV)光刻設(shè)備。該組件在晶圓對(duì)準(zhǔn)與曝光系統(tǒng)中扮演核心角色,通過(guò)高精度運(yùn)動(dòng)控制與信號(hào)傳輸,確保光刻工藝的納米級(jí)精度與穩(wěn)定性。
二、核心參數(shù)(部分,具體參數(shù)需以實(shí)物或原廠文檔為準(zhǔn))
1. 電氣特性
○ 工作電壓范圍:24VDC ±10%
○ 信號(hào)接口:高速差分信號(hào)傳輸(LVDS)
○ 功耗:≤50W
2. 機(jī)械特性
○ 尺寸:約300mm x 200mm x 150mm(長(zhǎng)x寬x高)
○ 重量:約8kg
○ 安裝接口:兼容ASML標(biāo)準(zhǔn)模塊化安裝規(guī)范
3. 環(huán)境適應(yīng)性
○ 工作溫度:20℃±5℃
○ 濕度范圍:30%~70% RH(無(wú)凝露)
○ 潔凈度等級(jí):ISO Class 5(百級(jí)潔凈室)
三、技術(shù)亮點(diǎn)
● 高精度運(yùn)動(dòng)控制:集成閉環(huán)伺服系統(tǒng),定位精度達(dá)±0.1μm,滿足7nm及以下制程需求。
● 可靠性設(shè)計(jì):采用冗余通訊鏈路與故障診斷模塊,確保設(shè)備連續(xù)運(yùn)行無(wú)宕機(jī)風(fēng)險(xiǎn)。
● 兼容性:嚴(yán)格遵循ASML設(shè)備接口規(guī)范,適配TWINSCAN NXE:3400B/3600D等主流機(jī)型。
四、供應(yīng)優(yōu)勢(shì)
寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化作為ASML授權(quán)分銷(xiāo)商,提供以下支持:
1. 正品保障:100%原廠原裝,提供完整追溯證書(shū)。
2. 快速交付:全球庫(kù)存網(wǎng)絡(luò),緊急訂單48小時(shí)內(nèi)發(fā)貨。
3. 技術(shù)支持:資深工程師團(tuán)隊(duì)提供安裝調(diào)試與故障排除服務(wù)。
五、應(yīng)用領(lǐng)域
該部件主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造的光刻環(huán)節(jié),涵蓋邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片及先進(jìn)封裝工藝,助力客戶實(shí)現(xiàn)高效產(chǎn)能與良率提升。
注意事項(xiàng):
本文參數(shù)僅供參考,實(shí)際產(chǎn)品性能以實(shí)物或ASML官方文檔為準(zhǔn)。如需詳細(xì)技術(shù)資料,請(qǐng)聯(lián)系寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化獲取原廠DS(數(shù)據(jù)手冊(cè))。
結(jié)語(yǔ)
ASML 4022.436.8158作為光刻機(jī)核心組件,其高精度與穩(wěn)定性是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵保障。寧德潤(rùn)恒自動(dòng)化以專(zhuān)業(yè)供應(yīng)鏈體系,為客戶提供從產(chǎn)品供應(yīng)到技術(shù)支持的全方位服務(wù),助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)迭代。
ASML 4022.436.8158阿斯麥



