產(chǎn)品詳情
簡單可靠的氣體分析解決方案
在線氣體分析系統(tǒng)
四級(jí)質(zhì)譜檢漏
高靈敏度傳感器和智能操作的結(jié)合，使MLS211 成為泄漏測試的完美解決方案。
全壓力范圍測量
對(duì)制程的監(jiān)控壓力范圍高達(dá)1x10-7 至1000 mbar
原位分析、監(jiān)測、定量化學(xué)反應(yīng)結(jié)果。
全新軟件
全新開發(fā)的操作軟件，更加易用可靠。所有測量結(jié)果均可保存上傳至 地方。新一代高效氣體分析解決方案，智能軟件，操作簡便，緊湊設(shè)計(jì)。
All in one
全新的 MLS 211匹配有高性能的渦輪分子泵和隔膜泵,無油的 高真空環(huán)境為質(zhì)譜的分析提供本底,不同的采樣系統(tǒng)可以 為您的氣體分析提供廣泛的測試解決方案；普適性的測量程序，優(yōu)質(zhì)的集成高科技組件。
典型應(yīng)用
殘留氣體分析
對(duì)真空系統(tǒng)中殘留氣體的分析提供了解決方案， 很多應(yīng)用要求對(duì)殘余氣體的組成或分壓進(jìn)行監(jiān)測，直至達(dá)到所期望的極限，我們的MLS 可以完美的測試殘余氣體組分。
關(guān)于材料的表面性能、解吸行為、純度和密封性測試，以及工藝氣體的組成的測試。該質(zhì)譜系統(tǒng)均可以完成測試，它還能為用戶提供對(duì)真空室狀況的重要信息。
完好的電池(紅色)和泄漏電解液的電池掃描比對(duì)
泄漏檢測
MLS 211具有特定的氣體泄漏檢測模式，可以通過軟件控制來激活。
此功能使用戶更容易在真空系統(tǒng)中發(fā)現(xiàn)任何泄漏。
DMC 的泄漏測試1.7e-5mbar.I/s
過程觀察
MLS211可以在高達(dá)300 amu 的測量范圍內(nèi)觀察到任意數(shù)量的選定質(zhì)量強(qiáng)度。可設(shè)定報(bào)警循環(huán)閾值給選定的質(zhì)量。如果它們高于或低于期望的極限，信號(hào)可以通過數(shù)字輸 出提供給更高等級(jí)的控制系統(tǒng)。這允許MLS211 提供實(shí)時(shí)過程觀察和控制。EVN116 (選配)氣體管控閥系統(tǒng)要適應(yīng)相關(guān)制程的壓力需要，以及一個(gè)另外集成的截止閥可 以快速的在系統(tǒng)泄漏時(shí)關(guān)閉并保護(hù)質(zhì)譜系統(tǒng)。
質(zhì)量保證和過程優(yōu)化
可選定幾個(gè)特定的制程一定時(shí)間范圍內(nèi)氣體濃度的變化， 監(jiān)視氣體成分，具有定量測定和確定工藝氣體的純度和種類的能力,以及監(jiān)測與真空鍍膜工藝有關(guān)的氣體成分的能力，被認(rèn)為是工藝文件和質(zhì)量保證的一個(gè)重要工具?？勺粉櫿麄€(gè)工藝流程，全過程測量 以及分析，無需停止測量。所有的測量結(jié)果可以導(dǎo)出以進(jìn)行進(jìn)一步的分析。
呼吸過程測試(特定版本)
通訊接口信息
| I/O選項(xiàng) | 模擬輸出 | 模擬輸入 | 數(shù)字輸出 | 數(shù)字輸入 |
| 數(shù)量 | 8 | 8 | 10 | 5 |
| 規(guī)格 | 0-10V | (-10-+10V) | Vout=24V | Vin=24V |
| 分辨率 | 16 bit | 16 bit | － | － |
| 應(yīng)用程序示例 |
測量值； 例：離子電流 濃度比； 數(shù)據(jù)傳輸?shù)礁叩燃?jí)的系統(tǒng)。 |
讀取外部參數(shù)； 例：壓力、溫度、流速 |
閥門驅(qū)動(dòng)； 自由切換量程 |
啟動(dòng)或停止測量任務(wù)的方式外部信號(hào) |
技術(shù)參數(shù)
| 渦輪分子泵 | HiCube Eco | |||||
| 功率 | 170W | |||||
| 電壓 | 110-240V;50/60Hz | |||||
| 對(duì)氦的抽速 | 67l/s | |||||
| 前級(jí)泵的抽速 | 1m3/h | |||||
| 極限壓力 | <1·10-7hpa | |||||
| 真空規(guī)管 | PKR 361 皮拉尼/冷陰極規(guī) | |||||
| 測量范圍 | 1·10-9-1·103hpa | |||||
| 進(jìn)樣系統(tǒng)閥組 | EVN 116 氣體計(jì)量/截止閥 | |||||
| 流量 | 可調(diào)流量范圍 5 ·10-6 -3 ·103 hPa l/s | |||||
| 連接法蘭 | DN 16 ISO-KF | |||||
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| 檢測器 | Faraday（F) | C-SEM/Faraday（F) | ||||
| 質(zhì)量范圍 | 1-100u | 1-200u | 1-300u | 1-100u | 1-200u | 1-300u |
| 四極桿 直徑/長度 | 6mm/125mm | |||||
| 最小可檢測分壓，F(xiàn)araday | 4·10-13hpa | 5·10-13hpa | 7·10-13hpa |
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| 最小可檢測分壓，C-SEM |
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3·10-15hpa | 4·10-15hpa | 5·10-15hpa |
| Ar 靈敏度 Faraday | 5·10-4A/hpa | 4·10-4A/hpa | 3·10-4A/hpa | 5·10-4A/hpa | 4·10-4A/hpa | 3·10-4A/hpa |
| 最大操作壓力，F(xiàn)araday | 5·10-4hpa | |||||
| 最大操作壓力，C-SEM |
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5·10-5hpa | 5·10-5hpa | 5·10-5hpa |
| 相鄰質(zhì)量干擾（40/41） | <10ppm | <20ppm | <50ppm | <10ppm | <20ppm | <50ppm |
| 最大工作溫度，分析單元 | 200℃（當(dāng)開啟SEM時(shí)最大150℃） | |||||
| 工作溫度 | 5-50℃ | |||||
| 烘烤溫度 | 300℃ | |||||
| 對(duì)接法蘭 | DN 40 CF-F | |||||
| 分辨率在10%峰高處 | 0.5-2.5u | |||||
| 掃描速度 | 1ms-16s/u | |||||
| 峰值比重線性 | ±0.5% | |||||
| 通訊接口 | Ethemet | |||||
| 供電 | 100-240V AC,50/60Hz | |||||
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| MLS211 | ||||||
| 全重 | 25.5-26.2kg | |||||
應(yīng)用咨詢和服務(wù)
應(yīng)用咨詢
ACT應(yīng)用工程師將分析您的應(yīng)用并就如何優(yōu)化氣體分析測試給出建議
服務(wù)和支持選項(xiàng)
ACT擁有由專業(yè)服務(wù)人員組成的全球網(wǎng)絡(luò)資源以及各種支持選項(xiàng)
– 實(shí)現(xiàn)您的需求
– 提高工作效率
– 確保您的儀器完全滿足各種復(fù)雜的應(yīng)用
完 整 的 氣 體 分 析測 試 解 決 方 案
ACT 真 空 代 表 全 球 創(chuàng) 新 和 定 制 的 氣體分析測 試 解 決 方 案 ， 技 術(shù) 完 美 ， 合 理 的 建 議 和 可 靠 的 服 務(wù)
氣 體 分 析 產(chǎn) 品 全 覆 蓋
我 們 擁 有 從 質(zhì) 譜 色 譜 到 光 譜 的 所 有 產(chǎn) 品 和 解 決 方 案 ， 解決您多重復(fù)雜氣體和復(fù)雜環(huán)境中的氣體分析，匹配于廣泛的氣體分析測試應(yīng)用環(huán)節(jié)。
理 論 和 實(shí) 踐 能 力
受 益 于 我 們的 專 業(yè) 知 識(shí) 和 我 們 的 培 訓(xùn) ！ 我 們 支 持 您 的 氣 提 分 析 ， 并 為 您 提 供 一 流 的 現(xiàn) 場 服 務(wù)。
