儀器信息網(wǎng)訊2019年8月17-19日，第八屆中國國際納米科技會議(chinanano 2019)在北京舉行。會議吸引了來自全球40多個(gè)國家和地區(qū)的2500余名從事納米科技研究的院士、專家、青年學(xué)者及企業(yè)精英參會開展科學(xué)交流。

chinanano 2019大會現(xiàn)場

作為chinanano 2019的贊助商，牛津儀器攜旗下原子力顯微鏡部門(asylum research，以下簡稱ar)亮相此次大會。會議間隙，在牛津儀器展位，儀器信息網(wǎng)編輯就ar業(yè)務(wù)部門產(chǎn)品研發(fā)及市場動(dòng)向，與ar全球總裁terry hannon博士、亞太區(qū)副總裁david beck博士、產(chǎn)品經(jīng)理marta kocun博士以及中國區(qū)大區(qū)經(jīng)理劉方博士進(jìn)行了現(xiàn)場交流。

牛津儀器展位現(xiàn)場

專注afm研究20載，產(chǎn)品創(chuàng)新從高性能到廣用途

ar成立于1999年4月1日，2012年加入牛津儀器，且加入牛津儀器之前就已經(jīng)在中國開展了業(yè)務(wù)。今年是部門成立的20周年，20年來，ar一直專注于原子力顯微鏡的研究，部門員工從最開始的三個(gè)創(chuàng)始人發(fā)展到現(xiàn)在的近百人，從事中國業(yè)務(wù)的人員也從一個(gè)人發(fā)展到十幾人。david beck介紹到，“至chinanano 2019，已經(jīng)是牛津儀器ar第七次參加chinanano，每次參會ar都會帶來具有革命性意義的新產(chǎn)品、新技術(shù)?！?/p>

ar創(chuàng)立之初的第一款產(chǎn)品mfp-1d是最早的具有閉環(huán)掃描器的產(chǎn)品，解決了當(dāng)時(shí)市場上的原子力顯微鏡都無法精準(zhǔn)地測量力曲線的弊病。2007年，ar推出了快速掃描產(chǎn)品cypher，那時(shí)候大家掃一幅afm圖像普遍需要幾分鐘甚至十幾分鐘，市場上也沒有出現(xiàn)所謂快速掃描原子力顯微鏡的概念，cypher的推出把掃描速度提高了幾十倍，線速度可以達(dá)到幾十赫茲。2017年牛津儀器正式推出了cypher vrs，這是市場上第一款全功能的視頻級掃描原子力顯微鏡，其將afm的掃描速度又提高了一個(gè)數(shù)量級，最快可以實(shí)現(xiàn)超過10幅每秒的幀速度，讓使用者可以進(jìn)行納米尺度下的原位動(dòng)態(tài)的研究，這是一個(gè)巨大的進(jìn)步。

“今年推出的jupiter，是一款大樣品臺原子力顯微鏡。無論是分辨率、自動(dòng)化程度、掃描精度、還是掃描速度，它都領(lǐng)先于市場上的同類產(chǎn)品，且jupiter可以兼顧學(xué)術(shù)和工業(yè)研究的需求?！?marta kocun說到，“工業(yè)界的樣品尺寸一般都比較大，無法切割。之前很多客戶對我們的產(chǎn)品性能很滿意，但是出于樣品尺寸方面的考量，放棄了我們的產(chǎn)品，jupiter的推出解決了這個(gè)問題。”

牛津儀器ar原子力顯微鏡

(左: mfp-3d; 中: cypher vrs; 右: 本次展出的jupiter xr)

技術(shù)創(chuàng)新為基礎(chǔ)，拓寬afm應(yīng)用領(lǐng)域從學(xué)術(shù)至工業(yè)

“如果你看我們技術(shù)發(fā)展歷程的話，會發(fā)現(xiàn)牛津儀器ar一直引領(lǐng)著原子力顯微鏡市場的技術(shù)革新。”terry hannon說到，“牛津儀器ar把產(chǎn)品帶到了chinanano 2019現(xiàn)場進(jìn)行操作展示，這說明我們對自己的產(chǎn)品非常有信心。原子力顯微鏡對穩(wěn)定性和噪音有很高的要求，一般需要一個(gè)安靜的運(yùn)行環(huán)境，而牛津儀器ar的產(chǎn)品在這樣一個(gè)較為嘈雜的環(huán)境下仍可以工作，足以證明ar產(chǎn)品的技術(shù)能力和水平。”

ar以前的客戶主要集中在高尖端科研和工業(yè)研發(fā)領(lǐng)域，通過推出配備大樣品臺的快速掃描原子力顯微鏡，客戶也從學(xué)術(shù)研究拓展到了工業(yè)生產(chǎn)、檢測等更多的領(lǐng)域。terry hannon表示，“其實(shí)公司新款產(chǎn)品的推出就是要從學(xué)術(shù)走到更廣闊的應(yīng)用前景，我們要把原子力顯微鏡的使用場景擴(kuò)得更大，讓更多的人用到牛津儀器ar的先進(jìn)技術(shù)?！?/p>

牛津儀器不只有原子力顯微鏡部門，還有等離子體部門、能譜部門等?！霸谘邪l(fā)jupiter這款產(chǎn)品的時(shí)候，ar就跟等離子體部門有很好的合作，深挖了半導(dǎo)體領(lǐng)域的需求，并針對需求進(jìn)行產(chǎn)品的研發(fā)和制定?！眒arta kocun說到，“我們有很強(qiáng)的技術(shù)，并將這些技術(shù)優(yōu)勢轉(zhuǎn)變?yōu)獒槍Π雽?dǎo)體領(lǐng)域的具體的解決方案。其實(shí)工業(yè)界更關(guān)心是準(zhǔn)確性、重復(fù)性、以及長效性。牛津儀器ar在新推出的jupiter xr上面做了測試，用同一根探針連續(xù)掃描一千次，最終的結(jié)果顯示，測得的表面粗糙度的誤差小于1%，這樣的一致性對工業(yè)領(lǐng)域是非常重要的。ar提供的儀器和技術(shù)能夠讓半導(dǎo)體領(lǐng)域客戶在高效使用設(shè)備的同時(shí)，獲得準(zhǔn)確而可重復(fù)的測量數(shù)據(jù)?！?/p>

交流現(xiàn)場

中國市場需求向上，未來將持續(xù)加大投入

“中國是一個(gè)發(fā)展相對迅猛的市場，由于政府和企業(yè)越來越重視研發(fā)的投入，中國對高科技設(shè)備的需求也在逐年增長?！眛erry hannon講到，“所以牛津儀器非常重視中國的市場，對中國市場也做了持續(xù)的投入?！?/p>

“就像白春禮院長在chinanano 2019開幕式上講的，中國的納米科技已經(jīng)在世界上領(lǐng)先，其中很多領(lǐng)域都處于引領(lǐng)地位。牛津儀器不僅可以提供技術(shù)一流的儀器產(chǎn)品，同時(shí)也有非常優(yōu)秀的、有資深專業(yè)背景的工程師團(tuán)隊(duì)，能夠支持客戶最大限度地利用儀器。公司用心培養(yǎng)專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，幫助中國用戶掌握先進(jìn)的afm技術(shù)，在這個(gè)層面上也體現(xiàn)出了對中國市場的重視。”terry hannon說到。

更多潛在市場需求有待開發(fā)，牛津儀器ar致力讓afm“更快速、更準(zhǔn)確、更智能”

marta kocun談到，“如果看到我們最新的儀器，會發(fā)現(xiàn)跟幾十年前的產(chǎn)品有很大的不同。跟以前的產(chǎn)品相比，它的主要部件、驅(qū)動(dòng)方式、檢測系統(tǒng)都有了顯著的發(fā)展。比如牛津儀器ar推出的bluedrive光熱激發(fā)輕敲模式，就是徹底改變了傳統(tǒng)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)方式，大大提高了測量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。再比如牛津儀器ar近期推出的干涉位移傳感系統(tǒng)（ids），其最大優(yōu)勢是可以避免傳統(tǒng)光杠桿所帶來的誤差，能夠?qū)崿F(xiàn)探針運(yùn)動(dòng)的精確測量?！?/p>

雖然原子力顯微鏡市場在逐年增長，但它還是有很大的增長空間。對此，terry hannon表示，“原子力顯微鏡具有自己獨(dú)一無二的特點(diǎn)，能做別的技術(shù)做不了的事。牛津ar的愿景就是要把原子力顯微鏡做得更快速、更準(zhǔn)確、更智能，使得原子力顯微鏡為更多人所認(rèn)識，讓更多的人可以直接使用。”

牛津儀器ar高層與本次展出的jupiter xr

(左至右: terry hannon博士; david beck博士; marta kocun博士; 劉方博士)