近日，匯專超聲綠色機(jī)床持續(xù)批量出貨，發(fā)往華南地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)先進(jìn)材料提供商客戶。

客戶作為全球先進(jìn)材料提供商，其需求在于針對不同材料半導(dǎo)體器件進(jìn)行鉆孔和銑削加工，并實現(xiàn)高精度、高效率的加工效果。超聲高效精密雕銑中心憑借高精、高速和一機(jī)多用的獨(dú)特優(yōu)勢，得到客戶的高度認(rèn)可。

該加工中心x/y/z軸定位精度為6μm、重復(fù)定位精度達(dá)4μm;主軸最高轉(zhuǎn)速40,000rpm;配置匯專自主研發(fā)的超聲加工系統(tǒng);可實現(xiàn)一機(jī)多用，滿足硬脆材料(陶瓷、藍(lán)寶石、玻璃、單晶硅、碳化硅)、復(fù)合材料工件和小零件的高光、微小孔超聲加工需求，同時滿足鋁合金、不銹鋼等金屬材料的高速、高精密加工。能夠幫助客戶提升加工效率、降低設(shè)備成本并帶來更卓越的加工效果。

超聲高效精密雕銑中心ulm-600

主要特點：

一機(jī)多用，可滿足硬脆材料、復(fù)合材料、高光加工、小零件加工、微小孔加工的加工需求

可配置不同型號超聲主軸(hsk-e32/hsk-e40/hsk-a63)，最高轉(zhuǎn)速達(dá)40,000rpm

可配置超臨界co2低溫冷卻系統(tǒng)、微量潤滑(mql)內(nèi)冷系統(tǒng)實現(xiàn)清潔加工

可選配雙刀庫，滿足不同加工需求

可搭配五軸轉(zhuǎn)臺，可實現(xiàn)五軸定位加工、五軸聯(lián)動加工，滿足工序集約化和復(fù)雜曲面零件的加工需求

標(biāo)配華中918d系統(tǒng)，可選配西門子828d系統(tǒng)

創(chuàng)新技術(shù)加持，突破硬脆材料加工難題

匯專超聲綠色系列機(jī)床是全球率先將超聲技術(shù)和綠色技術(shù)兩大創(chuàng)新技術(shù)有機(jī)融合，成功突破硬脆性材料、難切削金屬材料和復(fù)合材料加工難題的高端數(shù)控機(jī)床。

就半導(dǎo)體行業(yè)加工而言，半導(dǎo)體器件的材料通常為單晶硅、石英玻璃、碳化硅、陶瓷、石墨、鋁合金等硬脆性材料和難切削金屬材料，主要的加工工藝以微小孔加工、表面銑削加工、型腔銑削加工為主，同時對加工精度及表面質(zhì)量要求極高，普通機(jī)床難以滿足加工要求。經(jīng)過大量的實驗測試及市場驗證，匯專超聲綠色系列機(jī)床針對上述硬脆性材料的微小孔及銑削加工，優(yōu)勢顯著，在半導(dǎo)體行業(yè)知名客戶中廣泛應(yīng)用。

其中，機(jī)床配置的超聲輔助加工系統(tǒng)，在加工過程中，通過將高頻電能轉(zhuǎn)變?yōu)闄C(jī)械振動，在刀具旋轉(zhuǎn)加工的同時施加每秒16-60khz的振動，使刀具與工件產(chǎn)生周期性分離，提高加工穩(wěn)定性的同時促進(jìn)排屑，有效提升加工效率、改善工件表面質(zhì)量。

綠色技術(shù)(微量潤滑mql技術(shù)/超臨界co2低溫冷卻技術(shù))的應(yīng)用則取代傳統(tǒng)切削液，通過微米級油霧或-78°低溫技術(shù)，對刀具與加工部位進(jìn)行精準(zhǔn)冷卻潤滑，有效降低切削熱、減少刀具磨損、延長刀具壽命。

成功案例

01

單晶硅噴淋盤微孔加工

零部件名稱：噴淋盤

加工材料：單晶硅

加工特征：d0.48x18mm

客戶加工痛點：

× 傳統(tǒng)方案無法加工深孔

匯專解決方案：

+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ulm-600

+ 匯專超聲加工系統(tǒng)

+ 匯專整體pcd微鉆

匯專加工優(yōu)勢：

+ 孔入口崩缺<0.05mm

+ 孔位置度<0.01mm

+ 實現(xiàn)d0.48x18mm微孔加工(深徑比37.5:1)

+ 鉆頭壽命可穩(wěn)定達(dá)1,000+個孔

02

單晶硅噴淋盤51:1超深微孔加工

工件材料：單晶硅

工件尺寸：50x60x23mm

加工特征：d0.45x23mm盲孔均布精加工

客戶加工痛點：

× 客戶無成熟加工方案加工此種超深微孔

× 孔壁粗糙度僅ra6.54μm

× 孔真圓度僅0.025mm

匯專解決方案：

+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ulm-600

+ 匯專超聲加工系統(tǒng)

+ 匯專整體pcd鉆頭

匯專加工優(yōu)勢：

+ pcd鉆頭可連續(xù)加工1000+個d0.45x23mm的超深微孔(深徑比 51:1)

+ 盲孔加工，入口處目視無崩缺

+ 超聲加工孔壁粗糙度ra 0.088μm，比傳統(tǒng)加工粗糙度降低99%

+ 孔真圓度達(dá)0.003mm

03

石英玻璃多面棱鏡加工

材料：石英玻璃

尺寸：16x16x10mm

客戶原方案加工痛點：

× 粗糙度差，拋光余量大

× 尺寸精度要求高，依賴進(jìn)口設(shè)備

匯專解決方案：

+ 匯專超聲高效五軸聯(lián)動加工中心ulv200-5axis

+ 匯專超聲加工系統(tǒng)

匯專加工優(yōu)勢：

+ 超聲輔助加工降低切削力，有效提升加工效率

+ 加工表面可達(dá)鏡面級，粗糙度均勻，sa<70nm，降低表面拋光后尺寸的控制難度

+ 解決卡脖子問題，實現(xiàn)國產(chǎn)化

04

氧化鋁噴淋盤鉆孔加工

零部件名稱：氧化鋁噴淋盤

材料硬度: hv1,400

加工特征：d0.5x3.2mm/d1x5.8mm

深徑比6:1

加工孔數(shù) >;750 (個)

客戶加工難點：

× 刀具壽命低

匯專解決方案：

+ 匯專超聲高效精密雕銑中心ulm-400

+ 匯專超聲加工系統(tǒng)&熱縮刀柄

+ 匯專整體pcd鉆頭

匯專加工優(yōu)勢：

+ 刀具壽命提升34%以上

持續(xù)深耕，推動半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為現(xiàn)代化信息技術(shù)的基石，對推動全球經(jīng)濟(jì)發(fā)展和保障國家安全具有重要意義。各國政府也都在積極投入資金、制定政策以促進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。未來，隨著科技水平的提高以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴(kuò)大，半導(dǎo)體器件的機(jī)械加工要求也將越來越高。匯專將不斷加強(qiáng)技術(shù)創(chuàng)新和研發(fā)投入，在超聲綠色數(shù)控機(jī)床領(lǐng)域深耕細(xì)作，以獨(dú)特的超聲綠色技術(shù)引領(lǐng)半導(dǎo)體精密零件加工技術(shù)升級，推動半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。

(來源：匯專科技)