芯明天P15系列XYZ壓電納米定位臺是用于超分辨率顯微鏡應(yīng)用的多軸定位臺，通過閉環(huán)控制，可以實(shí)現(xiàn)亞納米級的高精度運(yùn)動，在XYZ平面上的行程范圍可達(dá)300微米。
P15內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。FEA使其設(shè)計(jì)具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動最小化。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E70系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩(wěn)定性。臺體中心66×66mm大通孔，非常適合顯微成像、微操作等應(yīng)用。
特點(diǎn)
• XYZ三維運(yùn)動
• 行程范圍：300μm／軸
• 無摩擦、高精度撓性導(dǎo)向系統(tǒng)
• 掃描平整度高
• 通孔尺寸：66×66mm
• 閉環(huán)階躍時(shí)間：60ms
• 閉環(huán)分辨率：13nm
• 承載能力：0．5kg
帶載階躍時(shí)間
閉環(huán)上升曲線，滿行程階躍時(shí)間60ms。
閉環(huán)壓電控制器
E70．D3S壓電控制器采用專用運(yùn)放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度。
技術(shù)參數(shù)
功能：數(shù)字與模擬集成式控制器
通道數(shù)：3
模擬輸入：0～10V
輸出電壓：0～120／150V
平均電流：70mA
帶寬：10kHz
傳感器類型：SGS
伺服特性：P．I＋低通＋陷波
通信接口：RS－232／422、USB
工作溫度： 0～50℃
尺 寸：168．5×134×45．5mm
重 量：1．2kg
供電電壓：24V DC1．5A（36W）
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