3月24日，由中國計量科學(xué)研究院(以下簡稱“中國計量院”)牽頭承擔(dān)的國家重點研發(fā)計劃“國家質(zhì)量基礎(chǔ)設(shè)施體系”重點專項(以下簡稱“nqi專項”)“片上納米幾何量與電學(xué)量計量技術(shù)研究及應(yīng)用”實施方案論證會在中國計量院和平里院區(qū)召開。

中國21世紀(jì)議程管理中心、市場監(jiān)管總局科財司相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)，中國計量院副院長戴新華及相關(guān)部門負(fù)責(zé)人，項目和課題負(fù)責(zé)人、各承擔(dān)單位代表共40余人參會。哈爾濱工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與工程學(xué)院院長劉儉、中國科學(xué)院微電子研究所研究員周維虎、清華大學(xué)精密儀器系教授曾理江、北京大學(xué)集成電路學(xué)院教授張大成等10位項目咨詢專家參會指導(dǎo)。會議以線上線下結(jié)合的方式進(jìn)行。

會上，中國計量院副院長戴新華對參會的領(lǐng)導(dǎo)和專家表示歡迎，從重視項目的執(zhí)行、加強項目成果與產(chǎn)業(yè)實際需求結(jié)合等方面對項目提出要求。中國21世紀(jì)議程管理中心和市場監(jiān)管總局科財司相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)對項目實施管理提出要求。項目負(fù)責(zé)人、中國計量院副研究員楊雁匯報了項目的總體情況、技術(shù)路線及預(yù)期成果等。來自中國計量院、同濟(jì)大學(xué)、中科院微電子所等單位的課題負(fù)責(zé)人分別介紹了各課題的具體任務(wù)及實施方案。

項目咨詢專家組成員從各自專業(yè)角度為項目及課題實施提出了咨詢意見。中國計量院相關(guān)部門負(fù)責(zé)人介紹了項目管理和經(jīng)費管理的制度辦法。

據(jù)項目負(fù)責(zé)人楊雁介紹，集成電路產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展離不開片上精密測試與計量技術(shù)。當(dāng)前，對片上關(guān)鍵特征參數(shù)的高精度檢測與量值溯源是集成電路工藝中亟需解決的共性計量問題。該項目以研制片上納米幾何量與電學(xué)量計量核心器件及相關(guān)計量裝置為目標(biāo)，擬建立面向集成電路片上膜厚、高密度光柵及位移傳感、電容和功率參數(shù)的計量校準(zhǔn)能力，并開展相應(yīng)成果的應(yīng)用示范。

項目將突破片上膜厚、高密度光柵、電容和微波功率標(biāo)準(zhǔn)器件的制備和計量技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)片上膜厚和高密度光柵及位移傳感的高精度溯源，解決片上微小電容與微波功率參數(shù)定標(biāo)溯源技術(shù)不足與標(biāo)準(zhǔn)芯片缺失的難題。該項目的完成，將有助于提高集成電路產(chǎn)業(yè)鏈經(jīng)濟(jì)質(zhì)量效益和核心競爭力，助力我國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。(文：張欣、石亞楠 )