近日，由國(guó)儀量子(合肥)技術(shù)有限公司牽頭、安徽省計(jì)量科學(xué)研究院參與的“120kv 熱場(chǎng)發(fā)射電子槍”項(xiàng)目，獲批2022年度國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”專項(xiàng)。
熱場(chǎng)發(fā)射電子槍具有束流較大、發(fā)射穩(wěn)定、亮度高、能散小等優(yōu)點(diǎn)，是透射電子顯微鏡、電子束光刻機(jī)、x射線衍射儀等高端電子束儀器的關(guān)鍵核心部件之一。本項(xiàng)目旨在解決上述重大儀器設(shè)備缺少國(guó)內(nèi)配套核心關(guān)鍵部件的問題，并推進(jìn)工程化與產(chǎn)業(yè)化。
據(jù)悉，國(guó)儀量子的核心技術(shù)是以量子精密測(cè)量為代表的先進(jìn)測(cè)量技術(shù)，為全球范圍內(nèi)企業(yè)、政府、研究機(jī)構(gòu)提供以增強(qiáng)型量子傳感器為代表的核心關(guān)鍵器件、用于分析測(cè)試的科學(xué)儀器裝備、賦能行業(yè)應(yīng)用的核心技術(shù)解決方案等優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。公司源于中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)中國(guó)科學(xué)院微觀磁共振重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)室在高端科學(xué)儀器、關(guān)鍵核心器件的研制領(lǐng)域深耕十余年。
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