電渦流傳感器通過電渦流效應實現(xiàn)位移測量的核心原理是電磁感應與阻抗變化檢測，具體過程可分為以下步驟：
1. ?電渦流效應生成?
當傳感器線圈通入高頻交流電（通常100 kHz至1 MHz）時，產(chǎn)生交變磁場?。若金屬導體靠近該磁場，導體內(nèi)會因電磁感應形成閉合環(huán)形渦電流（電渦流）?。渦流強度與磁場變化率、導體材料特性及距離相關?。
2. ?阻抗變化機制?
渦流產(chǎn)生的反向磁場會抵消原線圈部分磁場，導致線圈等效阻抗（包括電感、電阻）發(fā)生變化?。阻抗變化量（ΔZ）與線圈-導體間距（x）呈非線性關系，可通過標定建立數(shù)學模型（如Z=F(x,ρ,μ)）?。
3. ?信號轉換與輸出?
傳感器通過檢測電路（如電橋和諧振電路）將阻抗變化轉換為電壓或頻率信號?。例如：
調(diào)幅電路?：測量線圈電壓幅值變化；
調(diào)頻電路?：檢測諧振頻率偏移。
4. ?位移量計算?
通過校準阻抗變化與距離的對應關系，將電信號轉換為位移值?。例如，汽輪機監(jiān)測中通過高頻采樣阻抗變化，實時計算軸位移或振動幅度?。
關鍵影響因素
導體材料?：電導率（ρ）和磁導率（μ）直接影響渦流強度?；
頻率選擇?：高頻交流電（如1 MHz）可提升靈敏度?；
距離范圍?：典型測量間距為0.5-30 mm，需保證導體厚度大于渦流穿透深度?。
應用優(yōu)勢
非接觸測量?：避免磨損，適用于高速或高溫環(huán)境?；
高分辨率?：可達納米級精度，廣泛用于工業(yè)檢測?。
通過上述過程，電渦流傳感器實現(xiàn)了將機械位移轉換為電信號的*確測量?。
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