壓電陶瓷管掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個外部電極和連續(xù)的內部電極。當電壓施加到外部電極之一時，相應區(qū)域的致動器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉。圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。
壓電管掃描器廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應用?？筛鶕?jù)要求提供定制尺寸、規(guī)格。
技術參數(shù)
注：若工作在諧振頻率點，施加的驅動電壓必須降到驅動電壓上限的5％。
驅動
在驅動內部電極配置中，X和Y電極以標準方式相等且相反極性的電壓驅動。通過向內部電極施加滿量程負電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料更高的正電場強度，其通常是負電場強度的五倍。必須注意不要對內部電極施加正電壓，因為這會導致去極化。
電極
壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。內部電極是連續(xù)的，外部電極是四分區(qū)的。通過用稀硝酸蝕刻可以去除表面電極?？筛鶕?jù)要求提供定制電極配置。
在需要高磁場的應用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經濟的選擇，但金電極具有優(yōu)異的耐腐蝕性和導電性。
真空兼容性
壓電管不含任何除氣材料，并且完全兼容真空。
應用案例
壓電陶瓷掃描管用于光纖掃描。
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